真空泵的选型/水环式真（zhēn）空泵的（de）选（xuǎn）择

真空泵厂家">真空（kōng）泵的工作（zuò）压强应该满足真空设备的（de）极限真空及工作压强（qiáng）要求。如：真空镀膜要（yào）求1×10-5mmHg的（de）真空（kōng）度，选用的真（zhēn）空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度（dù）要（yào）高于（yú）真空设备真空度半个（gè）到一个（gè）数量级。

2、正确地选择真空泵的工作（zuò）点（diǎn）。每种泵（bèng）都（dōu）有一定的（de）工（gōng）作压强范围，如：扩散泵（bèng）为10-3~10-7mmHg，在（zài）这样宽压强（qiáng）范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作（zuò）点应该（gāi）选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可（kě）以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由真空泵有选（xuǎn）择性（xìng）抽气，因而，有时选用（yòng）一（yī）种泵不能满（mǎn）足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如（rú）钛升华泵对氢有很高的抽（chōu）速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非（fēi）对（duì）称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使（shǐ）真空装置得到较好的（de）真空度。另外，有的真空泵不能在大气压（yā）下工作，需要预真空；有的真空泵出口压（yā）强低（dī）于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来（lái）使用。

5、真空设备对油（yóu）污染的要求。若设备严格要求（qiú）无油时，应（yīng）该选各种无油泵，如：水（shuǐ）环（huán）泵（bèng）、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低（dī）温泵等。如果要求不严格，可（kě）以选择有油泵，加上一些防油污（wū）染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解（jiě）被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸（zhēng）气，有无颗粒（lì）灰尘，有无腐蚀性等。选择真（zhēn）空泵时，需要知道气体成分（fèn），针对（duì）被抽气体（tǐ）选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气（qì）口管路上安装辅助（zhù）设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出（chū）来的油蒸（zhēng）气对环境的影响如何。如果环境不（bú）允许（xǔ）有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对（duì）工艺过程及（jí）环境有无影响（xiǎng）。若工（gōng）艺过程不允许，应选择无振动的泵或者（zhě）采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及（jí）维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵（bèng）的类型主要由工作（zuò）所需的气量、真空度（dù）或排气压力而（ér）定（dìng）。泵工作时（shí），需要注意以下两个方面（miàn）：

1.尽可能要求在高效区内（nèi），也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排（pái）气（qì）压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极（jí）低，而且工作很不稳定，易（yì）产生振动和噪音。对于真空度较（jiào）高的真空泵而言，在此区域之内运（yùn）行，往往还会发生汽蚀（shí）现（xiàn）象，产生（shēng）这种现象的明显（xiǎn）标志是泵（bèng）内有噪音和（hé）振动。汽蚀会导（dǎo）致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工（gōng）作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力（lì）较高（gāo），单级泵往往不能满足，或（huò）者，要求泵在较高真空度情况下仍（réng）有（yǒu）较大气量，即要求性能曲线在较（jiào）高真空度时较平坦，可（kě）选（xuǎn）用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用（yòng）水环－大气泵或水环－罗茨（cí）真空机组作为抽真空装置。

如果只作真空泵（bèng）用，则选用单作（zuò）用泵比较好。因（yīn）为（wéi）单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在（zài）高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的（de）压缩机（jī）使用，则（zé）选用双作用的泵比较合（hé）适。因为双作用（yòng）泵的气量（liàng）大，体积小，重量轻（qīng），径向力能得（dé）到自动平衡，轴不容易产生疲劳（láo）断裂，泵的使用寿命较长。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。